| Numéro |
Photoniques
Numéro 93, Septembre-Octobre 2018
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| Page(s) | 30 - 36 | |
| Section | DOSSIER : TECHNOLOGIES OPTO-ÉLÉCTRONIQUES ET DISPOSITIFS | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/photon/20189330 | |
| Publié en ligne | 23 octobre 2018 | |
Des MEMS à l’optomécanique en cavité
Univ. Grenoble Alpes, CEA, LETI, DOPT, SNAP/LCO, 38054 Grenoble Cedex 9, France
* e-mail : laurent.duraffourg@cea.fr
Les travaux sur les microsystèmes mécaniques ont abouti à de nombreux succès techniques. Les technologies relatives aux capteurs inertiels sont désormais transférées à l’industrie, démontrant leur maturité. Ce domaine se renouvelle en intégrant la photonique et en exploitant les interactions de modes optiques résonants avec des modes de résonances mécaniques. Cette nouvelle approche aboutit à des preuves de concept de capteurs optomécaniques ultra sensibles ou de fonctions optiques nouvelles.
© Les auteurs, publié par EDP Sciences, 2018
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