| Issue |
Photoniques
Number 93, Septembre-Octobre 2018
|
|
|---|---|---|
| Page(s) | 30 - 36 | |
| Section | DOSSIER : TECHNOLOGIES OPTO-ÉLÉCTRONIQUES ET DISPOSITIFS | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/photon/20189330 | |
| Published online | 23 October 2018 | |
Des MEMS à l’optomécanique en cavité
Univ. Grenoble Alpes, CEA, LETI, DOPT, SNAP/LCO, 38054 Grenoble Cedex 9, France
* e-mail : laurent.duraffourg@cea.fr
Les travaux sur les microsystèmes mécaniques ont abouti à de nombreux succès techniques. Les technologies relatives aux capteurs inertiels sont désormais transférées à l’industrie, démontrant leur maturité. Ce domaine se renouvelle en intégrant la photonique et en exploitant les interactions de modes optiques résonants avec des modes de résonances mécaniques. Cette nouvelle approche aboutit à des preuves de concept de capteurs optomécaniques ultra sensibles ou de fonctions optiques nouvelles.
© Les auteurs, publié par EDP Sciences, 2018
Article publié sous les conditions définies par la licence Creative Commons Attribution License CC-BY (http://creativecommons.org/licenses/by/4.0), qui autorise sans restrictions l’utilisation, la diffusion, et la reproduction sur quelque support que ce soit, sous réserve de citation correcte de la publication originale.
Current usage metrics show cumulative count of Article Views (full-text article views including HTML views, PDF and ePub downloads, according to the available data) and Abstracts Views on Vision4Press platform.
Data correspond to usage on the plateform after 2015. The current usage metrics is available 48-96 hours after online publication and is updated daily on week days.
Initial download of the metrics may take a while.