| Issue |
Photoniques
Number 133, 2025
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| Page(s) | 43 - 48 | |
| Section | Acheter | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/photon/202513343 | |
| Published online | 13 August 2025 | |
Ellipsométrie spectroscopique
HORIBA France – 14, Boulevard Thomas Gobert - Passage Jobin Yvon CS 45002 – 91120 Palaiseau – France
* ramdane.benferhat@horiba.com
L’ellipsométrie est une technique optique qui permet de déterminer avec précision les propriétés optiques et structurelles de matériaux massifs ou déposés en couches minces. Elle consiste à mesurer la modification de la polarisation d’un faisceau lumineux par suite de sa réflexion par une surface plane. Cette technique d’analyse et de caractérisation, non destructive, est précise et très sensible est utilisée dans des domaines d’application de plus en plus larges.
© The authors, published by EDP Sciences, 2025
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