| Numéro |
Photoniques
Numéro 133, 2025
|
|
|---|---|---|
| Page(s) | 43 - 48 | |
| Section | Acheter | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/photon/202513343 | |
| Publié en ligne | 13 août 2025 | |
Ellipsométrie spectroscopique
HORIBA France – 14, Boulevard Thomas Gobert - Passage Jobin Yvon CS 45002 – 91120 Palaiseau – France
* ramdane.benferhat@horiba.com
L’ellipsométrie est une technique optique qui permet de déterminer avec précision les propriétés optiques et structurelles de matériaux massifs ou déposés en couches minces. Elle consiste à mesurer la modification de la polarisation d’un faisceau lumineux par suite de sa réflexion par une surface plane. Cette technique d’analyse et de caractérisation, non destructive, est précise et très sensible est utilisée dans des domaines d’application de plus en plus larges.
© The authors, published by EDP Sciences, 2025
This is an Open Access article distributed under the terms of the Creative Commons Attribution License (https://creativecommons.org/licenses/by/4.0), which permits unrestricted use, distribution, and reproduction in any medium, provided the original work is properly cited.
Les statistiques affichées correspondent au cumul d'une part des vues des résumés de l'article et d'autre part des vues et téléchargements de l'article plein-texte (PDF, Full-HTML, ePub... selon les formats disponibles) sur la platefome Vision4Press.
Les statistiques sont disponibles avec un délai de 48 à 96 heures et sont mises à jour quotidiennement en semaine.
Le chargement des statistiques peut être long.
