Métrologie à SOLEIL. Des outils de mesure de la forme des miroirs synchrotron : un microscope interférométrique à balayage de phase et raccordement de champ

^* muriel.thomasset@synchrotron-soleil.fr

Résumé

La cohérence des nouvelles sources synchrotron nécessite l’utilisation d’optiques limitées par la diffraction à des longueurs d’ondes inférieures au nanomètre. La fabrication des surfaces optiques a énormément progressé ces dernières années grâce aux techniques de polissage déterministe. Des surfaces avec des défauts de moins de 1 nm de hauteur pour des fréquences spatiales de l’ordre de 1 mm peuvent être actuellement produites. Le synchrotron SOLEIL ne possède pas le moyen de produire de telles optiques mais se doit d’être capable de les contrôler avant leur montage sur les lignes de lumière.