Microsystèmes et microcomposants pour l’instrumentation optique sur puce

^* christophe.gorecki@femto-st.fr

Résumé

La technologie MEMS (systèmes micro-électro-mécaniques) est aujourd’hui implantée dans différents domaines et conduit à de nombreuses applications commerciales. Grâce à son développement, les composants micro-optiques, optoélectroniques et micromécaniques bénéficient de techniques de micro-fabrication fiables et à faible coût. Dans ce contexte, nos objectifs sont de miniaturiser les instruments optiques de grande taille qui restent aujourd’hui très répandus pour les mesures à l’échelle micrométrique. Ainsi, nous souhaitons réaliser des architectures hybrides d’instrumentation optique grâce à tout le potentiel des microsystèmes. Cette démarche, illustrée par différents projets dans cet article, permet d’atteindre une miniaturisation poussée, d’accéder à la mesure parallèle grâce à la disposition matricielle issue de la fabrication collective et dans certains cas, de donner de nouvelles fonctionnalités.