Matériaux en couches minces : des corps purs composés aux méta-matériaux

^* michel.lequime@fresnel.fr

Résumé

Le domaine des couches minces optiques a vécu ces 20 dernières années de profondes mutations [1], aussi bien au niveau des systèmes de dépôt (le développement des procédés dits énergétiques, tels que la pulvérisation ionique, donne aujourd’hui accès à des couches dépourvues de toute porosité et présentant nombre des caractéristiques d’un matériau massif) que dans celui du pilotage de ces procédés, spontanément très stables (le contrôle optique in situ permet en effet de réaliser des arrêts de couche avec une précision réellement sub-nanométrique). Mais, bien évidemment, de telles mutations ont aussi eu des impacts sur la nature et les caractéristiques des matériaux entrant dans la constitution de ces empilements complexes. C’est à cet aspect spécifiquement matériau que sera consacré le présent panorama.