Micro-interféromètre monolithique sur silicium pour applications en espace libre

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Résumé

L’intégration de fonctions optiques au sein de systèmes compacts et robustes permet d’envisager la réalisation de dispositifs répondant à des besoins issus de nombreux domaines d’applications. Au-delà des procédés d’hybridation qui restent aujourd’hui les plus répandus pour accéder à ces systèmes, la recherche de solutions monolithiques constitue un enjeu de première importance pour leur développement à grande échelle. Ainsi, la mise en oeuvre de technologies issues de la microélectronique est une voie privilégiée pour l’élaboration de dispositifs innovants, à large diffusion et à fortes potentialités, notamment grâce à l’intelligence procurée par l’association de diverses fonctions électroniques. Un tel dispositif est présenté ici : il s’agit d’un micro-interféromètre dont le principe de fonctionnement a permis une intégration monolithique de fonctions optique et photo-détectrice sur silicium, lui conférant de grandes potentialités pour le développement de nouveaux microsystèmes optiques.