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Article cité :

Implementation of the Homogenization Method in the Numerical Estimation of Wafer Warpage

Soufyane Belhenini, Imad El Fatmi, Caroline Richard, Abdellah Tougui and Fabrice Roqueta
Coatings 13 (2) 318 (2023)
https://doi.org/10.3390/coatings13020318