Platines de nano-positionnement
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- Publié le mardi 28 juin 2016 10:55
Les platines de nanopositionnement piézo-électriques linéaires QNPHD d’Aerotech combinent les avantages d’une platine et d’un actionneur, le tout dans un ensemble compact et hautement rigide. Avec en option de rétroaction un capteur capacitif à mesure directe, des fréquences de résonance et une capacité de charge élevée, le QNPHD est idéal pour une vaste gamme d’applications à grande vitesse et haute précision, telles que les microscopes à balayage, les tests de disques durs et l’articulation des wafers semi-conducteurs.
Le concept d’actionnement par entraînement direct et la structure optimisée permettent d’obtenir des délais de réponse et de déplacement/stabilisation de l’ordre de la milliseconde. Les systèmes à flexion haute précision optimisés par éléments finis garantissent une rigidité élevée, une durée de vie importante du système et une dynamique élevée tout en maintenant d’excellentes performances géométriques (erreurs angulaires et rectitude) pour les applications critiques de nanopositionnement.
L’option de rétroaction en boucle fermée avec sa conception unique à capteur capacitif offre une résolution subnanométrique et des erreurs de linéarité inférieures à dix nanomètres. Ces capteurs capacitifs mesurent directement la sortie du chariot de positionnement, ce qui permet un haut niveau de précision et de répétabilité.
Associé aux contrôleurs et aux variateurs de la gamme Q d’Aerotech, le QNPHD offre une résolution de positionnement subnanométrique ainsi qu’une bande passante de positionnement élevée. Développés par Aerotech, la boîte à outils Dynamic Controls et les logiciels Motion Designer offrent un ensemble d’outils (apprentissage des contrôles, annulation des harmoniques, command shaping, etc.) à la fois très évolués et simples à utiliser, afin de mieux suivre les erreurs et de réduire la durée d’installation. La fonction FlashConfig d’Aerotech identifie automatiquement la platine et tous les paramètres opérationnels et charge les données d’étalonnage des axes pour garantir la sécurité, la précision et la facilité de connexion.
Le QNPHD est disponible avec des options de sortie de câbles arrière et latérale, ainsi qu’avec des fixations pour une installation horizontale ou verticale. Cette souplesse permet à l’utilisateur d’orienter et de configurer la platine de manière optimale sans avoir à concevoir différents supports et plaques adaptatrices, qui augmentent la taille et la complexité. Des modèles personnalisés et des versions sous vide sont disponibles sur demande.
