Des composants micro-optiques sur mesure à base de CaF2

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Publié le mardi 4 septembre 2012 10:25

À l'occasion du salon Semicon West à San Francisco, Californie, Etats-Unis, Jenoptik présente du 10 au 12 juillet un procédé de fabrication flexible avancé d’homogénéisateurs DUV micro-optiques à base de fluorure de calcium (CaF2) pour des longueurs d’ondes comprises entre 193 et 266 nm, comme par exemple les gammes de microlentilles ou les éléments optiques diffractifs (DOE).

Ces dispositifs sont entre autres utilisés dans les systèmes d’inspection de wafers, de masques et d’écrans plats, ainsi que dans les appareils de lithographie dans le cadre de la production de structures semi-conductrices microscopiques. Les homogénéisateurs permettent de répartir d’une manière définie la lumière dans le flux lumineux des systèmes d’éclairage. Ils doivent en permanence assurer la transmission optimale d’un rayonnement laser sur ondes courtes. Par rapport à d’autres matériaux optiques, le CaF2 présente un seuil de destruction plus élevé et une meilleure stabilité à long terme.

Jenoptik a investi dans un environnement de production moderne et dans du personnel spécialisé. Un procédé de micro-structuration de pointe allié à une technologie à l’argile grise et à un processus de gravure basé sur un wafer permet de réaliser sur mesure des structures réfractives, diffractives et hybrides avec des formes et des courbures asymétriques. Ce choix libre de géométries donne lieu à des modèles très variés de répartition des rayons, qui favorisent l’optimisation des propriétés des systèmes dans la fabrication de semi-conducteurs.

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