Métrologie optique de surfaces planes multiples par la technologie Shack Hartmann

Imagine Optic SA, Orsay, France

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Résumé

L’analyseur de Shack Hartmann s’est imposé comme un outil de métrologie optique pour sa facilité d’utilisation, sa très grande dynamique de mesure, son caractère achromatique et sa versatilité. Une nouvelle implémentation a été proposée récemment pour caractériser de multiples surfaces d’un même échantillon tirant parti de sa capacité à mesurer une combinaison de plusieurs fronts d’onde sans que le signal brut acquis n’en soit compromis, ne générant pas d’interférences. Mieux encore, il s’accommode de sources à toutes longueurs d’onde, et a su évoluer pour augmenter drastiquement sa résolution !