| Numéro |
Photoniques
Numéro 112, 2022
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| Page(s) | 43 - 47 | |
| Section | Dossier : Procédés lasers | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/photon/202211243 | |
| Publié en ligne | 4 mars 2022 | |
Écriture laser de materiaux fonctionnels inorganiques preparés par voie sol-gel
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Université de Haute-Alsace, CNRS, IS2M UMR 7361, F-68100 Mulhouse, France
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Université de Strasbourg, France
Les matériaux semi-conducteurs ont des propriétés optoélectroniques intéressantes pour de nombreuses applications microélectroniques. Leur introduction sous forme de films minces sur des substrats fragiles, tels que du verre fin, des feuilles de plastique souple ou des pièces imprimées en 3D, permet de créer de nouveaux matériaux intelligents en introduisant des capteurs ou des photodétecteurs. Dans cet article, nous illustrons l’intérêt de nouvelles approches basées sur des technologies laser et une chimie sol-gel pour intégrer des matériaux fonctionnels inorganiques semi-conducteurs ou diélectriques, dans des procédés rapides, agiles, avec des résolutions spatiales aux échelles micro et nanométriques.
© Les auteurs, publié par EDP Sciences, 2022
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