| Numéro |
Photoniques
Numéro 60, Juillet-Août 2012
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| Page(s) | 29 - 32 | |
| Section | DOSSIER MICROSYSTEMES OPTIQUES | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/photon/20126029 | |
| Publié en ligne | 30 août 2012 | |
Les microsystèmes électromécaniques optiques
Depuis le début des années 80, naissance des premiers systèmes miniaturisés associant des microsystèmes électromécaniques (MEMS) en technologie silicium et de l’optique, les fonctions optiques réalisées, les technologies de fabrication et d’intégration employées et les applications potentielles des microsystèmes électromécaniques optiques (MEMS optiques) et des microsystèmes optoélectromécaniques (MOEMS) se sont très largement étendues et diversifiées. Des contributions à ces évolutions sont illustrées ici par quelques exemples de projets en cours dans notre laboratoire.
© EDP Sciences, 2012
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