Ellipsométrie spectroscopique

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Résumé

L’ellipsométrie est une technique optique précise, consistant à mesurer la modification de la polarisation d’un faisceau à la réflexion sur une surface ou un échantillon. Cette technique d’analyse et de caractérisation, non destructive, est précise et très sensible. La mesure ellipsométrique comporte trois étapes indispensables : l’étalonnage de l’instrument, la mesure proprement dite et l’analyse des données.

L’ellipsométrie spectroscopique effectue des mesures sur tout un spectre et concerne des structures complexes : multicouches, rugosité (interface, homogénéité…). Les domaines d’application de l’ellipsométrie sont de plus en plus larges. Elle s’annonce déjà comme un outil de prédilection des nanotechnologies. Par ailleurs de nombreuses applications sont envisagées telles que la photoélasticimétrie en mécanique, l’optique cristalline, la saccharimétrie en chimie, la mesure de l’effet Faraday en magnétisme et la mesure des effets Kerr en électricité. Nous présentons dans cet article la technique spectroscopique et ses diverses applications.