Kloé : Aligneur de masque
Description
Après le récent succès du lancement de ses équipements d'écriture directe par laser (Dilase 250, Dilase 650, Dilase 750), et de son insolateur masqueur UV-KUB2, Kloé poursuit le développement de produits novateurs dans ce secteur et présente aujourd'hui un nouvel équipement dédié à la photolithographie par masquage : l'UV-KUB3.
L'UV-KUB3 est un aligneur de masque intégrant une tête d'insolation UV à LED, un système de vidéo positionnement et une interface pilotée par écran tactile.
Innovation apportée
L'UV-KUB3 est un aligneur de masque de toute nouvelle génération qui présente comme premier avantage de disposer d'une tête d'insolation UV conçue à partir d'une technologie à LED : grâce à une conception optique unique, celle-ci offre aujourd'hui parmi les plus faibles angles de divergence du marché, son caractère monochromatique assurant par ailleurs une meilleure maîtrise des séquences de réticulation et un meilleur contrôle des procédés, notamment par l'absence de composantes infrarouges dans son spectre.
La densité de puissance proposée sur cet équipement (> 25 mW/cm2) et la durée de vie de sa source UV, supérieure à 10 000 heures de fonctionnement en continu, en font une référence sur le marché.
Sa compacité et sa sécurisation assurée par un capotage intégral sont également des atouts très appréciés des utilisateurs.
Enfin, doté de performances d'alignement de l'ordre de quelques microns grâce à un système de vidéo positionnement très performant, et d'une interface pilotée par écran tactile, l'ensemble offre en outre une alternative très intéressante aux équipements traditionnels sur le plan économique.
La société Kloé produit actuellement une large gamme de composants et de systèmes dédiés à l'industrie de la photonique.
Forte de sa technologie Dilase et de son savoir-faire dans le domaine de la microtechnologie, la société Kloé propose notamment aujourd'hui une gamme complète d'équipements dédiés à l'insolation UV, l'un des points forts de l'entreprise.