Miroirs plans UV

Conçus pour diriger les faisceaux UVE et séparer les harmoniques, les miroirs plans ultraviolets extrêmes sont disponibles avec des angles d'incidence (AOI) de 5° et 45° et offrent une réflexion presque parfaite à 13,5 nm – la longueur d’onde avec la meilleure réflectivité en lithographie UVE. Avec une planéité de surface de λ/10 à 632,8 nm et une épaisseur de 6,35 mm, les miroirs à AOI de 45° se révèlent utiles pour diriger les faisceaux polarisés S tandis que les miroirs à AOI de 5° peuvent être utilisés avec des faisceaux non polarisés. Les miroirs plans ultraviolets extrêmes sont utilisés dans les applications innovantes comme l’imagerie par diffraction cohérente et la recherche en science des matériaux.

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