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Table piezoélectrique

La table de nano-positionnement piézo QFOCUS QF-50 d´Aerotech est conçue pour le positionnement des objectifs et optiques des microscopes hautes performances. Elle permet un déplacement de 400 μm en boucle fermée et de 450 μm en boucle ouverte, une haute vitesse, une linéarité de 0,01%, une résolution sub-nanométrique et une répétabilité bidirectionnelle de 4 nm. L´étage de nano-positionnement est adapté aux instruments optiques et aux applications de micro-usinage laser de prochaine génération. Le QF-50 est destiné aux applications de positionnement d´optiques exigeant une précision et un rendement élevés couplés à de grands déplacements.

Le QFOCUS QF-50 est guidé par des segments flexibles de précision optimisés à l´aide d´une analyse par éléments finis pour une rigidité et une fréquence de résonance permettant une haute cadence d’utilisation et une très forte bande passante. Les erreurs de rectitude sont inférieures à 40 nm sur l´ensemble de la plage de déplacement.

La boucle fermée optionnelle utilise un capteur capacitif de conception exclusive, qui permet une résolution sub-nanométrique et une linéarité élevée. A la différence des jauges de contrainte à feuille mince ou des capteurs piézo-résistifs, les capteurs capacitifs fournissent une mesure directe du chariot de positionnement pour une précision et une répétabilité améliorées.

Couplé aux contrôleurs et entraînements Aerotech de la série Q, le QF-50 bénéficie d’une résolution de positionnement et d´une stabilité en position (jitter) sub-nanométriques avec une bande passante de positionnement élevée. Des options logicielles comme Dynamic Controls Toolbox et Motion Designer, fournissent divers outils dont notamment la commande d´apprentissage itératif, l’« harmonic cancellation » et le « command shaping », qui assurent la réduction des erreurs de suivi et du temps de mise en position. Des options de drivers en version OEM sont également disponibles.

Le QF-50 est proposé avec des adaptateurs filetés convenant à la plupart des microscopes et objectifs. Le montage de la tourelle de microscope permet un positionnement simple et rapide selon l´orientation voulue. Des trous taraudés sur le corps d´étage fournissent d´autres solutions de montage pour les interfaces personnalisées des machines ou autres instruments optiques. Le QF-50 est proposé en standard avec une ouverture dégagée de 29 mm de diamètre. Des versions « custom », déplacements et adaptateurs filetés personnalisés sont possibles.

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