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Ellipsomètre

HORIBA Scientific lance l’UVISEL Plus, un ellipsomètre spectroscopique modulaire doté d’une nouvelle technologie d’acquisition pour une mesure plus rapide et plus précise des couches minces. L’appareil est doté d'un monochromateur plus rapide, tandis que la technologie FastAcq basée sur une double modulation, est adaptée à la caractérisation des couches minces. Elle permet d'effectuer une mesure spectroscopique de 190 à 2100 nm en moins de 3 minutes, à très haute résolution. La possibilité d’ajuster la résolution spectrale sur des plages distinctes de la gamme permet de mesurer un échantillon plus rapidement.

Destinés à la recherche, le traitement des matériaux, les écrans plats, la microélectronique ou encore le photovoltaïque, les UVISEL sont dotés d’une conception sans éléments tournants, ni composants supplémentaires dans le trajet optique. Les capacités du modulateur photo-élastique permettent des mesures ellipsométriques plus précises, notamment nécessaires pour les couches transparentes déposées sur substrat de verre.

La conception modulaire et évolutive de l'UVISEL Plus offre plusieurs tailles de microspot dédié aux échantillons à motif jusqu'à 50 μm, un angle d’incidence variable de 40 à 90°, une cartographie automatique et une variété d'accessoires. La gamme spectrale de 190 à 2100 nm est couverte par deux configurations de l’UVISEL Plus : 190-920 nm et une extension NIR jusqu'à 2100 nm. Piloté par la plateforme logicielle DeltaPsi2, l’UVISEL Plus permet aux utilisateurs débutants ou experts d'effectuer des mesures de film mince avec la plus grande précision et sensibilité.

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