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Confovis au cœur de la fabrication de diodes

Le fabricant de diodes laser Lumics a retenu les solutions de contrôle qualité et d’identification des erreurs de Confovis. Ces appareils de mesure de permettent à Lumics de mesurer des microstructures, en particulier les dimensions structurelles, les propriétés superficielles et les densités, avec précision, rapidité et de manière non destructive. Le système de mesure 3D ConfoSurf CLV150 est doté d’un procédé de mesure confocal breveté, basé sur la structured illumination microscopy (SIM). Il réalise l’ensemble des mesures jusqu’ici traitées par plusieurs appareils, sur toute une variété d’échantillons, voire même sur des matériaux réfléchissants et des couches transparentes. Il permet ainsi de déterminer la profondeur avec précision dans les processus de gravure sans décaper préalablement le wafer et le revernir après la mesure.